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工业冷水机在真空镀膜过程中的作用
发布时间:2022-05-06点击量:152

工业冷水机是一种能够提供恒温、恒流、恒压冷却水设备的水冷却设备。它的工作原理是在机器的水箱中注入一定量的水,通过制冷系统对水进行冷却,再通过水泵将低温冷却水送至待冷却设备。冷冻水会带走热量并提高温度,然后再回到水箱中,达到冷却效果。冷却水温度可根据要求自动调节,长期使用可节约用水。

真空镀膜的工作原理是工业冷水机的膜体在高温下蒸发结晶在工件表面。因为空气会对蒸发的膜分子产生阻力,并引起碰撞,使晶体粗糙和迟钝,在高真空下可以使晶体致密和明亮。如果真空度不高,晶体会失去光泽,结合力差。早期的真空镀膜依赖于蒸发器的自然散射,导致组合不良,工作效率低,光泽度差。现在加入中频磁控溅射靶。磁控管靶在电场作用下,通过膜体蒸发的分子加速对靶材料的轰击,溅射出大量的靶原子,而中性目标原子(或分子)沉积在基底上的膜的形成解决了过去不能通过自然蒸发处理的薄膜类型,如镀钛和镀锆。

工业冷水机由于中频设备频率高、电流大,需要在中频设备上增加冷却水。当电流在导体中流动时,会产生集肤效应,电荷会积聚在导体的表面积上,使导体受热,所以采用介孔管作为导体,加水冷却。

通过对非均匀电磁场中电子运动规律的深入研究,探讨了磁控溅射更为普遍的原理,以及磁场的横向不均匀性和对称性是磁约束的根本原因。磁控溅射是涂层技术的杰出成就之一。溅射速率高,基片温升低,薄膜基片结合力好,器件性能稳定。

工业冷水机.jpg

工业冷水机可控制真空镀膜机的温度,保证镀膜件的高品质。如果没有工业冷水机,真空镀膜机无法达到高精度、高效率温度控制的目的,因为自然水和水塔散热不可避免地会受到自然温度的影响,这种控制方法不稳定。

工业冷水机具有完全独立的制冷系统,不受温度和环境的影响。水温可在5℃~35℃范围自动调节控制,可达到大制冷、高精度、高效率控温的目的。工业冷水机配有独立的水循环系统,提供温度、压力、流量、电导率测控 彩色触摸屏,多种历史数据的存储和查询。

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