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超低温冷阱配套应用于Parylene镀膜设备
发布时间:2022-02-21点击量:71

在Parylene真空涂敷设备上,镀膜腔体与真空泵之间,需要低温捕集器。如下图。

常见的低温捕集器有以下3种方式:

1)液氮冷阱,是最经济的低温捕集方式,简单可靠,易于维护,费用低。但是液氮的供应受制约因素较多,另外在冷头里灌注液氮,不太方便。

2)超低温制冷机的冷头,替换液氮冷阱,是最常见的低温捕集方式。优点是直接替代液氮方式,用户容易理解和接受。缺点是冷头与制冷机之间,有不可拆卸的低温软管,损失部分冷量,若是低温状态下移动制冷机,容易损坏软管,造成制冷剂泄漏。与真空系统装配,占用空间较多。

3)超低温制冷机的冷阱,替换液氮冷阱,是更合理的低温捕集方式。将液氮冷头和真空罐一起去掉,从镀膜腔体的真空接口,采用真空软管,连接到超低温冷阱的真空接口,然后连到真空泵。超低温冷阱与超低温冷头相比,更加简单可靠,安装和维护更方便。

液氮冷阱的使用方式.jpg

超低温制冷机的冷头方式 .jpg

超低温制冷机作为冷阱.jpg

液氮冷头作为低温捕集器,捕集温度低,维护简单,但使用不便,常见于实验室里。

在工业领域,常见的是采用超低温制冷机作为低温捕集器,温度范围在-80℃~-145℃,一般分为冷头和冷阱两种方式。

超低温冷头的方式,优点是直接替代液氮冷头,也正好利用了原设计的液氮冷头的附加真空罐。缺点是液氮冷头或超低温冷头,法兰接口都是非标,需要定制;超低温冷头的黑色连接软管,保温层相对不足,会损失一部分冷量,低温时也比较脆弱、严禁移动。

超低温冷阱的方式,不需要附加的真空罐,整机机构简单。从镀膜腔室,直接连接冷阱即可。不会有冷量的损失、坚固耐用;接口采用真空标准形式KF40或KF50,非常方便可靠,也是真空系统的常规设计方案。

下图左边是冷头的方式,黑色的低温连接管,低温时比较脆弱,有冷量损失。

下图右边是冷阱的方式,真空连接比较简单可靠,镀膜腔室à冷阱à真空泵。

下边的大图,是选用台式冷阱的设计示意图(已批量应用)。

冷阱方式.jpg

冷阱方式实例.jpg

在超低温领域,长流仪器(Coolium instruments)是一家领先的研发型企业,为客户提供种类繁多的低温产品。比如最低温度为-50℃、-80℃、-110℃、-120℃、-135℃、-145℃的标准机型。同时也接受各种用户需求的非标定制。

长流仪器VaporCold超低温冷阱配套Parylene设备,已有超过15年的时间,配套的超低温冷阱超过500台,用户分布在国内、东南亚、欧洲、北美等市场。

长流仪器服务于Parylene设备,有丰富的经验和自信,可为用户提供多种解决方案。下图是长流仪器的部分机型图片,包括超低温冷头、超低温冷阱。

* 单压缩机自复叠制冷技术,降温快、温度低、节能环保、性能可靠。

* 机型种类齐全,立式或台式、冷头或冷阱,便于用户选择配套。

* 冷头或冷阱按真空标准进行设计、制造和测试,满足真空技术要求。

 * 在冷头或冷阱的低温表面,部分机型可选防腐蚀涂层,大大延迟使用寿命。

长流仪器冷阱.jpg

下边是一些国内外的应用实例,冷阱形式各异,供大家对比和参考:

冷阱实例1.jpg

冷阱实例2.jpg

冷阱实例3.jpg

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