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-100℃超低温冷阱应用于Parylene真空涂层设备
发布时间:2022-11-28点击量:246

Parylene(中文称:派瑞林、聚对二甲苯)是对二甲苯聚合物的商品名,是美国Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一种气相沉积高分子聚合物材料。

Parylene Coating派瑞林涂敷技术,采用独特的真空气相沉积工艺(CVD技术),由活性小分子在基材表面沉积出完全敷形的聚合物薄膜涂层(通常称为保形涂敷、共形涂敷、Conformal Coating),它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝里和内表面,号称“无孔不入”。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性,也有很好的物理机械性能,是一种坚韧、自润滑性和良好的均匀性的高分子涂敷材料, 甚至被业内称为当今世界顶级的防潮、防霉、防腐、防盐雾的特殊防护涂敷。

Parylene涂敷技术,可广泛应用在航天、航空、军工、电子、生物医疗、控制系统、文物保护、纳米材料和磁性材料等诸多领域。也包括很多新的用途,特别是传统的材料不能满足特定要求的一些场合,它的应用能解决一些传统材料所不能解决的技术问题。

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目前,制备Parylene薄膜的气相沉积设备,通常分为四个部分,分别为蒸发室,高温裂解室,高分子沉积聚合室,真空冷阱室。它们是一个连续的过程,四个腔室相互连通、相辅相成,通过与真空冷阱室连接的真空泵调节各个腔室的真空度,在各个腔室之间之问形成压差,使parylene单体气体流动。最后由冷阱来完成剩余的parylene单体的收集和泵的保护。

在Parylene(派瑞林)真空涂覆工艺中,超低温冷阱是必不可少的配套设备,一般选用-100℃或-120℃冷阱,可分为锅式冷阱和棒式冷阱。冷阱的尺寸、安装方式可以根据用户需要单独定制,以达到最优的捕集效率。在Parylene涂敷领域,长流仪器具备丰富的配套经验和解决方案,提供专业的定制服务,使每一台定制产品,都达到标准产品完全相同的质量水平。

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长流仪器长期深耕于超低温制冷技术,自主研发和生产VaporCold系列超低温冷冻机(冷阱),完美替代PolyCold低温设备,配套应用于Parylene真空涂敷设备,长期为国内外Parylene(派瑞林)真空设备厂商配套提供-100℃、-120℃、-135℃超低温冷阱。

近二十年来,VaporCold系列-100℃真空涂敷冷阱、-120℃超低温冷冻机、-135℃水汽捕集器、-150℃系列超低温冰箱和金属深冷处理箱、-120℃至-170℃超低温热沉试验机组,多次中标中国科学院、中国火箭研究院、中国工程物理研究院核心项目,为航天军工、生物制药、医疗卫生、真空镀膜、光电子、太阳能、远洋渔业、高校科研、金属加工、环境监测等项目提供-100℃至-170℃的超低温设备。

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