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水汽深冷捕集泵有效缩短抽真空时间,提高镀膜品质
发布时间:2022-04-20点击量:1272

在使用油扩散泵和分子泵抽真空的过程中,真空腔室里残留的气体,80%以上是水汽、油气和一些高沸点蒸汽。这种残余气体在高真空状态下难以快速抽除。残留气体的存在不仅会影响真空度 ,还会污染生产实验工件。

在真空度在10-1和10-5pa之间,水汽深冷捕集泵可以有效缩短抽真空时间,提高镀膜品质。更快的抽气速度,改善了真空度,提高产品质量,提高生产效率。在真空室或油扩散泵的泵口放置一个可快速达到-120℃以下的低温装置(水汽捕集盘管或低温冷阱),通过其表面低温冷凝能力,将真空室中的残余气体迅速吸附在其表面,从而大大缩短抽真空时间(可缩短抽真空时间60-90%), 获得干净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-5Pa)。

VaporCold水汽深冷捕集泵,常见以下2种安装和使用方式:

1、水汽深冷捕集泵常安装在高阀与真空室之间,或在真空室中,或在卷绕涂层的上、下室中。非常适用于塑料低温涂层、卷绕涂层等涂层材料放气量大的场合。低温盘管也需要加热除霜功能 ,在每次开门破真空之前,使盘管的表面温度恢复到常温,以防止低温盘管从大气中捕集水汽,形成大量的冰霜,影响下一个镀膜作业。

2、水汽深冷捕集泵放置在油扩散泵的泵口,高阀下方。它的主要作用是防止油气返流,还可以加快抽气速度,改善真空度。由于低温冷阱部分处于真空状态,不需要除霜功能。

水汽深冷捕集泵.jpg

长流仪器研发生产的VaporCold -135℃水汽深冷捕集泵,采用成熟的核心技术、可靠的设计方案、进口品牌制冷压缩机及制冷配件、环保混合制冷剂、自动复叠制冷。制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。其设计和制造与国际技术水平同步,性能指标达到甚至超过同类进口机型,可实现对进口机型的直接替换。

长流仪器提供完整的水汽捕集方案,帮助客户提高生产效率、减少生产费用,改进制程表现,提高产品质量和产量。

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